Nach internationaler Praxis wird der Staubfreiheitsgrad hauptsächlich nach der Anzahl der Partikel in der Luft angegeben, deren Durchmesser größer als der Klassifizierungsstandard pro Kubikmeter ist.Das heißt, das sogenannte Staubfrei ist nicht 100% ohne ein wenig Staub, sondern kontrolliert in einer sehr kleinen Menge von Einheiten.Natürlich sind die Partikel, die den Staubstandard in diesem Standard erfüllen, sehr klein im Vergleich zu unserem üblichen Staub, aber für optische Strukturen hat selbst ein wenig Staub einen sehr großen negativen Einfluss, so dass bei der Herstellung von Produkten für optische Strukturen Staub- frei ist eine unvermeidliche Voraussetzung.
Die Anzahl der Partikel mit einer Partikelgröße von weniger als 0,5 Mikron wird auf weniger als 3.500 pro Kubikmeter kontrolliert, was den internationalen Staubfreiheitsstandard A erreicht hat.Die derzeit in der Chip-Level-Produktion und -Verarbeitung verwendeten Staubfreiheitsstandards haben höhere Anforderungen an Staub als Klasse A, und solche hohen Standards werden hauptsächlich bei der Produktion einiger Higher-Level-Chips verwendet.Die Menge an Feinstaub wird streng auf 1000 pro Kubikmeter begrenzt, was in der Industrie allgemein als 1K-Niveau bekannt ist.
1. Fach, Deckenmaterial, Deckenhöhe;
2. Bodenmaterial;
3. Ob es sich um konstante Temperatur und Luftfeuchtigkeit handelt;
4. ob Abluft erforderlich ist;
5. Die Gesamtzahl der Personen in der Werkstatt;
6. Der Heizwert der Werkstattausrüstung;
Und so weiter eine Reihe von Parametern.
Die Standards für einen Reinraum der Klasse 100.000 sind:
Maximal zulässige Staubmenge (pro Kubikmeter);
Die Anzahl der Partikel größer oder gleich 0,5 Mikrometer darf 3.500.000 nicht überschreiten, und die Anzahl der Partikel größer oder gleich 5 Mikrometer darf 20.000 nicht überschreiten;
Höchstzulässige Anzahl von Mikroorganismen;
Die Anzahl der Bakterien darf 500 pro Kubikmeter nicht überschreiten;
Die Anzahl der angesiedelten Bakterien sollte 10 pro Petrischale nicht überschreiten.
Druckdifferenz: Die Druckdifferenz zwischen Reinräumen gleicher Reinheitsstufe sollte konstant sein.Der Druckunterschied zwischen benachbarten Reinräumen unterschiedlicher Reinheitsgrade sollte ≥ 5 Pa und der Druckunterschied zwischen Reinräumen und Nicht-Reinräumen ≥ 10 Pa betragen.
Wenn die 100.000-Level-staubfreie Werkstatt keine besonderen Anforderungen an Temperatur und Luftfeuchtigkeit stellt, ist es angemessen, saubere Arbeitskleidung zu tragen, ohne sich wohl zu fühlen.Die Temperatur wird im Winter im Allgemeinen auf 20 ~ 22 ℃ geregelt;24~26℃ im Sommer;Schwankung ±2℃.Die Luftfeuchtigkeit des Reinraums wird im Winter auf 30–50 % geregelt, und die Luftfeuchtigkeit im Reinraum im Sommer wird auf 50–70 % geregelt.
Geräuschpegelkontrolle
1. Während des dynamischen Tests sollte der Geräuschpegel im Reinraum der Klasse 10.000 70 dBA nicht überschreiten.
2. Während des statischen Tests sollte der Geräuschpegel des 10.000-stufigen turbulenten Reinraums nicht größer als 60 dBA sein.
Luftströmungsorganisation
Die Hauptluftversorgungsmethode, die in der staubfreien Werkstatt mit 100.000 Ebenen verwendet wird;
1. Deckenluftzufuhr mit teilweiser Öffnung;
2. Hochleistungsluftfilter mit Diffusorplatte für Deckenluftzufuhr;
3. Drei Arten der Luftzufuhr, einschließlich Luftzufuhr an der oberen Seitenwand.
1. Ordnen Sie den Rückluftauslass am unteren Teil der einzelnen Seitenwand an;2. Bei Verwendung der Korridorabluft den Abluftauslass gleichmäßig im Korridor anordnen oder den Abluftauslass mittig am Ende des Korridors setzen.
Luftaustrittsgeschwindigkeit m/s:
1. Öffnung 3~5 der Öffnungsplatte，
2. Seitlicher Luftauslass:
(1) Bringen Sie die Düsen 2 bis 5 an.
(2) Bei nicht angebrachten Düsen beträgt die Rückluft am unteren Teil derselben Seitenwand 1,5–2,5 und die Rückluft am unteren Teil der gegenüberliegenden Seitenwand 1,0–1,5.
Rückluftgeschwindigkeit (m/s):
1. Der Rückluftauslass des Reinraums ist nicht mehr als 2,
2. Der Rückluftauslass im Korridor ist nicht mehr als 4.
1. Zweck
Legen Sie Standardarbeitsanweisungen für das Personal fest, das den Reinraum der Ebene 100.000 betritt und verlässt, um sicherzustellen, dass der Reinraum nicht durch Personal verschmutzt wird.
2. Bereich
Der Ein- und Ausgang des staubfreien Werkstattpersonals auf 100.000 Ebenen, einschließlich Produktionspersonal, Wartungspersonal und Managementpersonal.
3 Verantwortlichkeiten
3.1 Alle Mitarbeiter, die die staubfreie Werkstatt auf 100.000 Ebenen betreten und verlassen, sind für dieses Betriebsverfahren verantwortlich.
3.2 Die Überwachung und Kontrolle obliegt dem Teamleiter der Staubfreiwerkstatt und dem Qualitätskontrollpersonal vor Ort.
4 Inhalt
4.1 Betreten Sie die Tür des Reinraums und legen Sie Ihre Regenkleidung und Gegenstände an der angegebenen Position ab.
4.2 Hausschuhe wechseln.Am Schuhwechselplatz auf den Schuhhocker setzen, die Hausschuhe ausziehen, in den Schuhschrank stellen, um 180 Grad drehen, die eigenen Hausschuhe auf der oberen Ebene des Schuhschranks herausnehmen und anziehen.
4.3 Wechsel der Arbeitskleidung.Betreten Sie das Büro des allgemeinen Arbeitsbereichs, ziehen Sie die Freizeitkleidung der Mitarbeiter aus und ziehen Sie Arbeitskleidung an.
4.4 Waschen Sie Ihre Hände.Befolgen Sie das Handwaschverfahren, um Ihre Hände zu waschen.
4.5 Arbeitsschuhe wechseln.Betreten Sie die Tür des Schuhraums, setzen Sie sich auf die Bank, stellen Sie sich der Tür gegenüber, ziehen Sie die Hausschuhe aus, legen Sie die Hausschuhe in die untere Ebene des Schuhschranks, nehmen Sie Ihre Arbeitsschuhe aus der oberen Ebene des Schuhschranks, setzen Sie sich und mit dem Rücken zur Tür um 180 Grad drehen und aufsetzen.
4.6 Hände waschen und abtrocknen.
4.6.1 Befeuchten Sie Ihre Hände bis 10 cm über Ihrem Handgelenk in der Spüle mit Wasser, waschen Sie sie mit Waschmittel, machen Sie die Haut von 10 cm an Ihren Händen und Handgelenken mit Schaum voll und reiben Sie sie etwa 15 Sekunden lang.
4.6.2 Spülen Sie Ihre Hände mit Wasser ab, spülen Sie den eingeweichten Reis auf Ihren Händen ab, drehen Sie Ihre Hände auf und ab und reiben Sie sie, bis sie sich nicht mehr fettig anfühlen.
4.6.3 Prüfen Sie visuell, ob die Hände sauber sind.
4.6.4 Erweitern Sie Ihre Handfläche auf 8 bis 10 cm unterhalb der Trocknerhand und trocknen Sie Ihre Hand, bis sie trocken ist.
4.7 Wechseln Sie zu sauberer Unterwäsche.Arbeitskleidung ausziehen und in den persönlichen Spind legen.Arbeitsmütze, Arbeitskleidung und Arbeitshose mit der Personalnummer vom Wandhaken in einer Umkleidekabine abnehmen und anziehen.Anziehen in der Reihenfolge von oben nach unten, d.h. zuerst Hut, Maske, dann Oberteil und dann Hose anziehen.Achten Sie darauf, alle Oberteile in die Hosentaschen zu binden, alle Haare in die Mützen zu stecken und zu prüfen, ob die Mäntel und Mützen ordentlich sind.
4.8 Hände waschen und desinfizieren.
4.8.1 Befeuchten Sie Ihre Hände bis 10 cm über Ihrem Handgelenk in der Spüle mit Wasser, waschen Sie sie mit Reinigungsmittel, füllen Sie die Haut von 10 cm an Ihren Händen und Handgelenken mit Schaum und reiben Sie sie etwa 15 Sekunden lang.
4.8.2 Spülen Sie Ihre Hände mit Wasser ab, spülen Sie den eingeweichten Reis auf Ihren Händen ab, drehen Sie Ihre Hände auf und ab und reiben Sie sie, bis sie sich nicht mehr fettig anfühlen.
4.8.3 Prüfen Sie visuell, ob die Hände sauber sind.
4.8.4 Desinfektion.Hände 30 Sekunden lang bis 10 cm über dem Handgelenk in chlorhaltigem Desinfektionsmittel einweichen.
4.8.5 Erweitern Sie Ihre Handfläche auf 8 bis 10 cm unterhalb der Trocknerhand und trocknen Sie Ihre Hand, bis sie trocken ist.
4.9 Overalls tragen.Entfernen Sie die eine Seite mit der individuellen Nummer aus dem Schrank.Tragen Sie sie von unten nach oben und achten Sie darauf, dass der Overall nicht den Boden berührt.
4.10 Empfang und Desinfektion.Schieben Sie die Tür in den Pufferraum, legen Sie Ihre Hände unter den automatischen Induktionssprüher, der mit 75 % Ethanol gefüllt ist, sprühen Sie zur Desinfektion, schütteln Sie Ihre Hände und lassen Sie das Ethanol trocknen.
4.11 Reinraum betreten.Öffnen Sie die Pufferkammertür und betreten Sie den staubfreien Bereich.
4.12 Wenn das Personal den Reinbereich verlässt, befolgen Sie das umgekehrte Verfahren zum Betreten des Reinbereichs.Beachten Sie, dass Sie sich beim Ziehen von Arbeitskleidung von unten nach oben ausziehen.
4.13 Besucher von außerhalb müssen vom Werk genehmigt werden und unter Anleitung und Aufsicht des Werkstattleitungspersonals die staubfreie Werkstatt gemäß den vorgeschriebenen Verfahren betreten und verlassen.Ausländische Besucher müssen sich strikt an die Geschäftsordnung des Workshops halten.Während der Produktionszeit ist der Reinraum für externe Besucher nicht zugänglich.
Nach internationaler Praxis wird der Staubfreiheitsgrad hauptsächlich nach der Anzahl der Partikel in der Luft angegeben, deren Durchmesser größer als der Klassifizierungsstandard pro Kubikmeter ist.Das heißt, das sogenannte Staubfrei ist nicht 100% ohne ein wenig Staub, sondern kontrolliert in einer sehr kleinen Menge von Einheiten.Natürlich sind die Partikel, die den Staubstandard in diesem Standard erfüllen, sehr klein im Vergleich zu unserem üblichen Staub, aber für optische Strukturen hat selbst ein wenig Staub einen sehr großen negativen Einfluss, so dass bei der Herstellung von Produkten für optische Strukturen Staub- frei ist eine unvermeidliche Voraussetzung.
Die Anzahl der Partikel mit einer Partikelgröße von weniger als 0,5 Mikron wird auf weniger als 3.500 pro Kubikmeter kontrolliert, was den internationalen Staubfreiheitsstandard A erreicht hat.Die derzeit in der Chip-Level-Produktion und -Verarbeitung verwendeten Staubfreiheitsstandards haben höhere Anforderungen an Staub als Klasse A, und solche hohen Standards werden hauptsächlich bei der Produktion einiger Higher-Level-Chips verwendet.Die Menge an Feinstaub wird streng auf 1000 pro Kubikmeter begrenzt, was in der Industrie allgemein als 1K-Niveau bekannt ist.
1. Fach, Deckenmaterial, Deckenhöhe;
2. Bodenmaterial;
3. Ob es sich um konstante Temperatur und Luftfeuchtigkeit handelt;
4. ob Abluft erforderlich ist;
5. Die Gesamtzahl der Personen in der Werkstatt;
6. Der Heizwert der Werkstattausrüstung;
Und so weiter eine Reihe von Parametern.
Die Standards für einen Reinraum der Klasse 100.000 sind:
Maximal zulässige Staubmenge (pro Kubikmeter);
Die Anzahl der Partikel größer oder gleich 0,5 Mikrometer darf 3.500.000 nicht überschreiten, und die Anzahl der Partikel größer oder gleich 5 Mikrometer darf 20.000 nicht überschreiten;
Höchstzulässige Anzahl von Mikroorganismen;
Die Anzahl der Bakterien darf 500 pro Kubikmeter nicht überschreiten;
Die Anzahl der angesiedelten Bakterien sollte 10 pro Petrischale nicht überschreiten.
Druckdifferenz: Die Druckdifferenz zwischen Reinräumen gleicher Reinheitsstufe sollte konstant sein.Der Druckunterschied zwischen benachbarten Reinräumen unterschiedlicher Reinheitsgrade sollte ≥ 5 Pa und der Druckunterschied zwischen Reinräumen und Nicht-Reinräumen ≥ 10 Pa betragen.
Wenn die 100.000-Level-staubfreie Werkstatt keine besonderen Anforderungen an Temperatur und Luftfeuchtigkeit stellt, ist es angemessen, saubere Arbeitskleidung zu tragen, ohne sich wohl zu fühlen.Die Temperatur wird im Winter im Allgemeinen auf 20 ~ 22 ℃ geregelt;24~26℃ im Sommer;Schwankung ±2℃.Die Luftfeuchtigkeit des Reinraums wird im Winter auf 30–50 % geregelt, und die Luftfeuchtigkeit im Reinraum im Sommer wird auf 50–70 % geregelt.
Geräuschpegelkontrolle
1. Während des dynamischen Tests sollte der Geräuschpegel im Reinraum der Klasse 10.000 70 dBA nicht überschreiten.
2. Während des statischen Tests sollte der Geräuschpegel des 10.000-stufigen turbulenten Reinraums nicht größer als 60 dBA sein.
Luftströmungsorganisation
Die Hauptluftversorgungsmethode, die in der staubfreien Werkstatt mit 100.000 Ebenen verwendet wird;
1. Deckenluftzufuhr mit teilweiser Öffnung;
2. Hochleistungsluftfilter mit Diffusorplatte für Deckenluftzufuhr;
3. Drei Arten der Luftzufuhr, einschließlich Luftzufuhr an der oberen Seitenwand.
1. Ordnen Sie den Rückluftauslass am unteren Teil der einzelnen Seitenwand an;2. Bei Verwendung der Korridorabluft den Abluftauslass gleichmäßig im Korridor anordnen oder den Abluftauslass mittig am Ende des Korridors setzen.
Luftaustrittsgeschwindigkeit m/s:
1. Öffnung 3~5 der Öffnungsplatte，
2. Seitlicher Luftauslass:
(1) Bringen Sie die Düsen 2 bis 5 an.
(2) Bei nicht angebrachten Düsen beträgt die Rückluft am unteren Teil derselben Seitenwand 1,5–2,5 und die Rückluft am unteren Teil der gegenüberliegenden Seitenwand 1,0–1,5.
Rückluftgeschwindigkeit (m/s):
1. Der Rückluftauslass des Reinraums ist nicht mehr als 2,
2. Der Rückluftauslass im Korridor ist nicht mehr als 4.
1. Zweck
Legen Sie Standardarbeitsanweisungen für das Personal fest, das den Reinraum der Ebene 100.000 betritt und verlässt, um sicherzustellen, dass der Reinraum nicht durch Personal verschmutzt wird.
2. Bereich
Der Ein- und Ausgang des staubfreien Werkstattpersonals auf 100.000 Ebenen, einschließlich Produktionspersonal, Wartungspersonal und Managementpersonal.
3 Verantwortlichkeiten
3.1 Alle Mitarbeiter, die die staubfreie Werkstatt auf 100.000 Ebenen betreten und verlassen, sind für dieses Betriebsverfahren verantwortlich.
3.2 Die Überwachung und Kontrolle obliegt dem Teamleiter der Staubfreiwerkstatt und dem Qualitätskontrollpersonal vor Ort.
4 Inhalt
4.1 Betreten Sie die Tür des Reinraums und legen Sie Ihre Regenkleidung und Gegenstände an der angegebenen Position ab.
4.2 Hausschuhe wechseln.Am Schuhwechselplatz auf den Schuhhocker setzen, die Hausschuhe ausziehen, in den Schuhschrank stellen, um 180 Grad drehen, die eigenen Hausschuhe auf der oberen Ebene des Schuhschranks herausnehmen und anziehen.
4.3 Wechsel der Arbeitskleidung.Betreten Sie das Büro des allgemeinen Arbeitsbereichs, ziehen Sie die Freizeitkleidung der Mitarbeiter aus und ziehen Sie Arbeitskleidung an.
4.4 Waschen Sie Ihre Hände.Befolgen Sie das Handwaschverfahren, um Ihre Hände zu waschen.
4.5 Arbeitsschuhe wechseln.Betreten Sie die Tür des Schuhraums, setzen Sie sich auf die Bank, stellen Sie sich der Tür gegenüber, ziehen Sie die Hausschuhe aus, legen Sie die Hausschuhe in die untere Ebene des Schuhschranks, nehmen Sie Ihre Arbeitsschuhe aus der oberen Ebene des Schuhschranks, setzen Sie sich und mit dem Rücken zur Tür um 180 Grad drehen und aufsetzen.
4.6 Hände waschen und abtrocknen.
4.6.1 Befeuchten Sie Ihre Hände bis 10 cm über Ihrem Handgelenk in der Spüle mit Wasser, waschen Sie sie mit Waschmittel, machen Sie die Haut von 10 cm an Ihren Händen und Handgelenken mit Schaum voll und reiben Sie sie etwa 15 Sekunden lang.
4.6.2 Spülen Sie Ihre Hände mit Wasser ab, spülen Sie den eingeweichten Reis auf Ihren Händen ab, drehen Sie Ihre Hände auf und ab und reiben Sie sie, bis sie sich nicht mehr fettig anfühlen.
4.6.3 Prüfen Sie visuell, ob die Hände sauber sind.
4.6.4 Erweitern Sie Ihre Handfläche auf 8 bis 10 cm unterhalb der Trocknerhand und trocknen Sie Ihre Hand, bis sie trocken ist.
4.7 Wechseln Sie zu sauberer Unterwäsche.Arbeitskleidung ausziehen und in den persönlichen Spind legen.Arbeitsmütze, Arbeitskleidung und Arbeitshose mit der Personalnummer vom Wandhaken in einer Umkleidekabine abnehmen und anziehen.Anziehen in der Reihenfolge von oben nach unten, d.h. zuerst Hut, Maske, dann Oberteil und dann Hose anziehen.Achten Sie darauf, alle Oberteile in die Hosentaschen zu binden, alle Haare in die Mützen zu stecken und zu prüfen, ob die Mäntel und Mützen ordentlich sind.
4.8 Hände waschen und desinfizieren.
4.8.1 Befeuchten Sie Ihre Hände bis 10 cm über Ihrem Handgelenk in der Spüle mit Wasser, waschen Sie sie mit Reinigungsmittel, füllen Sie die Haut von 10 cm an Ihren Händen und Handgelenken mit Schaum und reiben Sie sie etwa 15 Sekunden lang.
4.8.2 Spülen Sie Ihre Hände mit Wasser ab, spülen Sie den eingeweichten Reis auf Ihren Händen ab, drehen Sie Ihre Hände auf und ab und reiben Sie sie, bis sie sich nicht mehr fettig anfühlen.
4.8.3 Prüfen Sie visuell, ob die Hände sauber sind.
4.8.4 Desinfektion.Hände 30 Sekunden lang bis 10 cm über dem Handgelenk in chlorhaltigem Desinfektionsmittel einweichen.
4.8.5 Erweitern Sie Ihre Handfläche auf 8 bis 10 cm unterhalb der Trocknerhand und trocknen Sie Ihre Hand, bis sie trocken ist.
4.9 Overalls tragen.Entfernen Sie die eine Seite mit der individuellen Nummer aus dem Schrank.Tragen Sie sie von unten nach oben und achten Sie darauf, dass der Overall nicht den Boden berührt.
4.10 Empfang und Desinfektion.Schieben Sie die Tür in den Pufferraum, legen Sie Ihre Hände unter den automatischen Induktionssprüher, der mit 75 % Ethanol gefüllt ist, sprühen Sie zur Desinfektion, schütteln Sie Ihre Hände und lassen Sie das Ethanol trocknen.
4.11 Reinraum betreten.Öffnen Sie die Pufferkammertür und betreten Sie den staubfreien Bereich.
4.12 Wenn das Personal den Reinbereich verlässt, befolgen Sie das umgekehrte Verfahren zum Betreten des Reinbereichs.Beachten Sie, dass Sie sich beim Ziehen von Arbeitskleidung von unten nach oben ausziehen.
4.13 Besucher von außerhalb müssen vom Werk genehmigt werden und unter Anleitung und Aufsicht des Werkstattleitungspersonals die staubfreie Werkstatt gemäß den vorgeschriebenen Verfahren betreten und verlassen.Ausländische Besucher müssen sich strikt an die Geschäftsordnung des Workshops halten.Während der Produktionszeit ist der Reinraum für externe Besucher nicht zugänglich.
